掩膜版表面瑕疵检测操作

 由于掩膜版的高透光和高透亮特性，因此检测其表面瑕疵难度稍大。如果检测掩膜版表面刮痕，可直接选择6000K白光版，如果需要检测表面异物，185LE进口卤素灯500-600nm黄绿复合光版。操作如下：

1–调整表面瑕疵检测灯185LE位置，灯头与台面距离为30cm，角度为垂直90度
2–在台面放一块黑色的背景板
3–打开表面瑕疵检测灯185LE并将亮度调到满值
4–手拿掩膜版并将其放在底端离台面15cm处，与水平角度保持在30-60度之间
5–不断地调整角度位置，直到找到合适的角度

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